Закономерности образования и роста покрытий
1. Давления остаточных газов в вакуумной камере. Достаточно обосновано эмпирическое правило: чем выше давление в камере, тем ниже качество покрытия.
В зависимости от условий энергообмена , природы взаимодействующего атома и атомов подложки возможны...