Выбор электронной пушки и расчёт основных ее элементов

Министерство Образования Российской Федерации

Московский Энергетический Институт

(технический университет)

Кафедра технологии металлов

Курсовой проект по курсу:

“Проектирование специализированного оборудования и оснастки для обработки материалов КПЭ”

Тема проекта: ”Выбор электронной пушки и расчёт основных ее элементов”

Студент: Коссе И.М.

Группа: С-10-09

Руководитель: Рыжкин Р.А.

Москва 2012

Содержание

Задание на курсовое проектирование

Введение

. Выбор электронной пушки

. Расчет проволочного прямонакального катода

2.1 Цель расчета катода

.2 Справочные данные

2.3 Расчет проволочного прямонакального катода, выполненного из тантала

.4 Сравнительный анализ параметров катодов из вольфрама и тантала

. Расчет параметров фокусирующей катушки

4. Выбор насосов вакуумной системы и ее схемы для откачки электронной пушки

.1 Выбор схемы откачки

4.2 Выбор насосов вакуумной системы

4.2.1 Определение суммарного газового потока натекающего в электронную пушку

.2.2 Определение быстроты откачки

.2.3 Выбор высоковакуумного насоса

.2.4 Выбор насоса предварительного разряжения

4.2.5 Расчет времени откачки электронной пушки

.2.6 Графическая проверка выбора вакуумных насосов и определение совместности их работы

Заключение

Список литературы

Задание на курсовое проектирование

по курсу: “Проектирование специализированного оборудования и оснастки для обработки материалов КПЭ”

Тема проекта: “ Выбор электронной пушки и расчёт основных ее элементов ”

Содержание задания:

. Выбрать электронную пушку (из имеющихся в литературе) для выполнения технологического процесса - сварка; привести схему - чертеж и описание конструкции.

. Выполнить расчет проволочного прямонакального катода из вольфрама и для сравнения из тантала. Разработать конструкцию катодного узла.

. Рассчитать основные параметры фокусирующей катушки.

. Выбрать насосы вакуумной системы и ее схему для откачки пушки.

Объем проекта (минимальный):

·   графическая часть - 2 листа формата А1;

·   пояснительная записка - не менее 20 страниц формата А4.

Исходные данные: ЭП для сварки, проволочный прямонакальный катод,

U_уск=45 кB; I=200 мA.

Введение

Электронно-лучевая установка - это технологическая машина для обработки материалов с помощью электронного пучка. Его формирование осуществляется в специальном устройстве, называемом электронно-лучевым генератором или электронной пушкой, для чего используют электрические и магнитные поля. Пучок представляет собой ускоренный поток электронов. Плотность мощности, достигаемая в нем … Вт/см², позволяет отнести его к концентрированным потокам энергии, которые обеспечивают быстрый нагрев, плавление и испарение материалов.

В определенном смысле, в силу его свойств и широкого спектра технологических возможностей, пучок электронов можно считать идеальным термическим инструментом для обработки материалов. Это подтверждается преимуществами пучка по сравнению с лазерным лучом и плазменной дугой, такими как:

высокий эффективный К.П.Д. нагрева (0,9…0,98);

большая концентрация мощности в пятне нагрева (у лазерного луча достижимы на порядок большие значения);

хорошая управляемость мощностью, распределением плотности мощности в пятне нагрева и положением самого пятна;

вакуумная защита зоны обработки (достоинство, приводящие к значительному усложнению технологической установки).

. Выбор электронной пушки

К высоковольтным пушкам относятся все пушки, созданные в ФРГ К. Штейгервальдом. Особое внимание Штейгервальд уделяет созданию ряда типовых электронно-лучевых пушек для сварки и размерной обработки, а также специализированных пушек и аппаратуры управления лучем, считая, что пушки, источники питания и аппаратура управления лучем являются автономными блоками и могут использоваться на любой установке.

Сварочные пушки К. Штейгервальда работают при ускоряющем напряжении до 150 кВ. В качестве прототипа была выбрана электронная пушка К. Штейгервальда [1] мощностью 9 кВт (U_уск=45 кВ; I=200 мА). Отличием новой конструкции является модификация катодного узла. Электронная пушка представлена на рис.1.

Данная электронная пушка отвечает следующим требованиям:

а) быстрая замена катодного узла без разборки всей пушки и последующей юстировки электронно-оптической системы;

б) возможность работы в любом пространственном положении, для чего высоковольтный ввод выполнен без масляной изоляции;

в) блочная структура конструкции позволяет легко приспосабливать пушку к изменяющимся условиям производства.

Формирование пучка происходит в электронно-лучевой пушке. Источником электронов является термоэмиссионный катод, который выполнен из тантала. Катодный узел (2) и управляющий электрод (3) закреплены на высоковольтном изоляторе (4). На некотором расстоянии от катода находится анод (5), выполненный в виде массивной детали с отверстием на оси, которая крепится на корпус электронно-лучевой установки. Между катодом и анодом прикладывается ускоряющее напряжение 45 кВ. Ускоряющее напряжение разгоняет эмитированные электроны, которые пройдя отверстие в аноде в дальнейшем движутся по инерции. Фокусирование электронного пучка происходит с помощью фокусирующей системы (7), которая выполнена в виде магнитной линзы- соленоида, создающего магнитное поле специальной формы. Фокусирующая система изменяет траекторию пролетающих электронов, при этом пучок сходится на изделии и обладает высокими удельными энергетическими показателями. Отклоняющая система содержит две пары отклоняющих катушек (8), расположенных во взаимно перпендикулярных направлениях, и отклоняющих сфокусированный пучок по изделию.

В этой пушке для смены катода нужно освободить токопровод от уплотнителей, открыть верхнюю крышку корпуса (1), извлечь сменный катодный узел и установить новый. Конструкция катодного узла, чертеж которого приведен на рис.2, и высокая точность его изготовления обеспечивают попадание луча в ту же самую точку, что и до смены катодного узла. Лучепровод пушки (6) снабжен вакуумным затвором (9), позволяющим перекрывать область катодного узла при сварке в промежуточном вакууме. С целью поддержания в области катодного узла высокого вакуума (примерно  мм. рт. ст.) пушка снабжена дифференциальной системой откачки.

Катодный узел является одним из основных функциональных элементов электронно-лучевой установки, т.к. от его стабильной работы (постоянство эмиссии электронов) зависит успех технологического процесса.

Рис.1. Модифицированная электронно-лучевая пушка Штейгервальда

Рис.2. Конструкция катодного узла

. Расчет проволочного прямонакального катода

.1 Цель расчета катода

Целью расчета катода является определение, с учетом конкретной конструкционной схемы и материала, его геометрических размеров и электрических параметров источника накала, которые обеспечивают заданную силу тока эмиссии катода. В свою очередь, ток эмиссии катода определяет значение тока электронного пучка для пушки, использующей данный катод.

Суть расчета заключается в вычислении электрических и геометрических параметров катода при различных температурах. Данная методика расчета проволочного прямонакального катода приведена в учебном пособии [1].

.2 Справочные данные [1]

Таблица 2.1

Таблица 2.2

Поправки на охлажденные концы катодов из W и Ta:

2.3 Расчет проволочного прямонакального катода, выполненного из тантала

Таблица 2.3

Константы и теплофизические свойства тантала при Т = 2200°С [1]

Расчет единичного катода

Гипотетический единичный катод - это катод, у которого длина и диаметр равны используемой единице длины.

В соответствии с рекомендациями [1], расчёт начинаем с вычисления параметров единичного катода :

Достижимая плотность тока термоэлектронной эмиссии нагретого тела (плотность тока насыщения) зависит от температуры по закону Ричардсона - Дэшмана:

(2.1)

где Т - температура нагрева;

Удельное излучение с поверхности (величина, определяемая теплофизическими характеристиками катода и не зависящая от его величины) определяется по формуле:

 (2.2)

Электрофизические параметры единичного катода определяются по следующим формулам.

Мощность, подводимая от источника питания для нагрева катода:

 (2.3)

.

Сопротивление нагретого катода:

 (2.4)

Ток накала катода:

 (2.5)

Напряжение накала катода:

 (2.6)

Сила тока эмиссии катода:

 (2.7)

Скорость испарения материала катода:

 (2.8)

Расчет геометрических параметров катода

Для идеального катода ток эмиссии равен току пучка с учетом потерь эмиссионных свойств на 20%.

 (2.9)

Идеальный катод имеет по всей длине постоянную температуру в отличии от реального катода, который имеет участки, находящиеся в непосредственной близости от держателей с меньшей температурой, чем температура центральной части. Снижение температуры ведет к изменению всех характеристик идеального катода, в том числе наиболее важных с практической точки зрения - силы тока эмиссии катода и падения напряжения на его длине.

Напряжение накала идеального катода несколько больше напряжения накала реального катода в связи с уменьшением удельного сопротивления материала на охлажденных концах:

где U_HR - напряжение источника питания накала (напряжение накала реального катода);

DU_H - поправка по напряжению накала на точку крепления (на охлажденные концы катода);

n - количество точек крепления (охлажденных концов).

n = 2; DU_H = 0.215 B; U_HR = 8 В;

 В.

Соответствующие изменение тока эмиссии учитывают коэффициентом идеальности:

 (2.10)

где DU_e - поправка по напряжению накала, вызванное поправкой по току эмиссии, DU_e = 0,818.

Из этого уравнения выражается значение тока эмиссии идеального катода:

В соответствии с формулами:

 - падение напряжения на идеальном катоде;

 - сила тока эмиссии идеального катода;

Диаметр проволоки и длина катода определяются:

 (2.11)

 (2.12)

Расчет параметров идеального катода

Электрофизические параметры идеального катода определяются по следующим формулам.

Мощность подводимая от источника питания для нагрева катода:

 (2.13)

Сопротивление нагретого катода:

 (2.14)

Ток накала катода:

 (2.15)

Скорость испарения материала катода:

 (2.16)

Срок службы катода

По мере эксплуатации материал подвергается распылению и испарению. Учесть распыление - важнейший фактор разрушения катода проблематично. Действие же испарения, которое уменьшает диаметр нити и снижает силу тока эмиссии, возможно оценить на основании эмпирической зависимости срока службы от температуры и диаметра катода:

 (2.17)

где В - коэффициент, зависящий от критерия принимаемого при оценке срока службы (, если критерием считать уменьшение эмиссии на 20%).

.4 Сравнительный анализ параметров катодов из вольфрама и тантала

Таблица 2.4

Сравнительная характеристика материалов катода:

Таблица 2.5

Сравнительный анализ параметров катодов из вольфрама и тантала, полученных при расчете:

Зависимости τ, l, d от температуры Т для проволочного прямонакального катода из вольфрама и тантала, представленных на рис.3,4,5.

катод насос катушка откачка

Рис.3. График зависимости срока службы катода от температуры

Рис.4. График зависимости длины катода от температуры

Рис.5. График зависимости диаметра катода от температуры

Вывод: Исходя из полученных данных, был выбран проволочный прямонакальный катод из тантала с параметрами: температура нагрева катода Т=2200 К, диаметр проволоки d=2.333 ·10^-4 м, длина катода l=0.122 м, срок службы τ=64.784 ч.

Катод имеет вид бифиллярной спирали. Форма эмитирующей части катода показана на рис.6.

Рис.6. Форма эмитирующей части катода

. Расчет параметров фокусирующей катушки

Целью расчета является выбор конструктивных параметров второй магнитной линзы, обеспечивающих фокусное расстояние.

Современные электронные пушки строятся по двух линзовой схеме:

Первая линза - иммерсионный электростатический объектив; вторая - магнитная линза. Ход лучей в двух линзовом генераторе показан на рис.7.

Рис.7. Схема траекторий в двух линзовом генераторе

Усилием первой линзы, образуемой полем ускоряющего промежутка между катодом и анодом, формируется изображение катода CD в за анодном пространстве. Перед этим изображением расположено наименьшее сечение пучка АВ, являющееся точкой фокуса первой линзы со стороны изображения и называемое кроссовером. Радиус кроссовера может быть в десятки раз меньше радиуса катода. Поэтому, именно кроссовер является объектом второй линзы для формирования изображения A’B’ [6].

Рис.8. Формирование электронно-оптического изображения в тонкой магнитной линзе

Будем рассматривать магнитную линзу симметричную относительно средней плоскости и слабопреломляющую (длиннофокусную), тогда можно считать: главные плоскости совпадающими со средней; главные фокусы симметрично расположенными ( |ƒ₁|=|ƒ₂|=ƒ ), а потенциалы электрического поля по обе стороны линзы одинаковыми и равными U.

Из учета мощности электронной пушки примем [1]:

f = 500 мм - фокусное расстояние;

I_Ф = 250 мА - ток фокусировки;

R_ср = D_лп = 30 мм - средний радиус фокусирующей катушки;

j_Ф = 2 А/мм² - плотность тока фокусировки.

Число ампер-витков фокусирующей катушки определяется по формуле:

 (2.18)

Плотность тока:

 (2.19)

отсюда найдем диаметр проволоки обмотки фокусирующей катушки:

Примем значение диаметра проволоки обмотки фокусирующей катушки по ГОСТу: d_пр = 0.4 мм

Площадь поперечного сечения проволоки:

 (2.20)

Уточним значение плотности тока фокусировки:

 (2.21)

Плотность тока в проводе не должна превышать 2..5 А/мм². Условие выполняется.

Вычислим площадь поперечного сечения катушки:

 (2.22)

где k - коэффициент, учитывающий способ намотки проволоки;

Определим длину H и ширину B поперечного сечения катушки:

 (2.23)

Примем H = 15 мм, тогда

Угол поворота изображения:

 (2.24)

Рис.9. Схема фокусирующей катушки

. Выбор насосов вакуумной системы и ее схемы для откачки электронной пушки

.1 Выбор схемы откачки

Вакуумные системы технологических ЭЛУ построены в основном по двум схемам: с общей или раздельной дифференциальной откачкой рабочей ВК и ЭП [2,4]. Первая схема обычно используется при обработке в высоком вакууме в рабочих камерах относительно небольших объемов или в случае подвижной пушки. В этом случае внутренняя полость ЭП соединена с камерой и откачивается общей ВС. Недостатки схемы в необходимости обеспечивать высокий рабочий вакуум (10^-2…10^-3 Па) в значительном объеме и худших условиях работы катода ЭП, который подвергается термоциклированию и периодическому напуску воздуха в процессе загрузки-выгрузки изделия. Более совершенной является ВС с раздельной откачкой, которая применима в случае стационарной пушки. В этой схеме для удаления газа из пушки используется дополнительная (как правило, меньшей производительности) откачная система, которая позволяет проводить обработку изделия при промежуточном вакууме (1…10^-1 Па) в ВК, сохраняя при этом высокий вакуум в ЭП. Величина последнего будет определяться величиной натекания газа из камеры в ЭП и производительностью этой дополнительной ВС. Между пушкой и камерой устанавливается вакуумный затвор, который позволяет герметично отделить их откачиваемые объемы. Это дает возможность перезагрузить камеру без напуска воздуха в полость ЭП или заменить катодный узел пушки без напуска воздуха в камеру. При этом предварительный вакуум в пушке может достигаться через рабочую камеру при открытом затворе в результате работы насоса.

Выберем схему с раздельной дифференциальной откачкой рабочей ВК и ВК ЭП.

Схема вакуумной системы (рис.10), включает: вакуумную камеру СV и ЭП, вентиль VП4 для напуска воздуха и датчики вакуума PA5, PT2; форвакуумный насос NI2, который посредством вентиля VП5 подсоединён к ЭП, а через кнопку Вкл.3, подсоединенной к электрической сети - управляется; PA6 и PA4 - датчики вакуумной системы трубопровода и диффузионного насоса ND2, который соединён через вентиль VП6 с насосом предварительного разряжения NI2, а посредством затвора VП с внутренним объёмом ЭП. Кроме того ND2 через кран VП9 подключён к магистрали водопровода для охлаждения и управляется через кнопку Вкл.4, подсоединенной к электрической сети для питания нагревательного элемента.

Рис.10. Схема вакуумной системы электронной пушки.

Откачка ЭП на высокий вакуум осуществляется в следующей последовательности. Исходное положение: электропитание отключено, вентили и затвор закрыты. Для пуска установки необходимо подключить сеть к NI2 с помощью кнопки Вкл.3. Начинается откачка системы трубопроводов до низкого вакуума, затем выполняем откачку до высокого вакуума. Для этого требуется открыть вентиль VП5. Начинается откачка пушки. Достигнув низкого вакуума в ЭП, необходимо закрыть VП5 и открыть вентиль VП6 для откачки до низкого вакуума рабочего объёма ND2. Обеспечив низкий вакуум в ND2, необходимо подготовить его к работе, для чего следует открыть кран VП9 подачи воды в ND2 и подключить кнопкой Вкл.4 сеть к нагревательному элементу ND2. Диффузионный насос будет готов к работе спустя 45 минут после включения его нагрева. Затем необходимо открыть затвор VП, соединяющий ЭП с ND2. Начинается откачка пушки до высокого вакуума (~10^-3 Па ), после чего установка готова к работе.

Для отключения ЭЛУ необходимо: закрыть затвор VП; отключить кнопку Вкл.4, что приводит к остановке и охлаждению ND2, которое длится 45 минут; закрыть кран VП9 подачи воды (при температуре корпуса ND2 ниже 50 ^oC); закрыть клапан VП6; отключить электропитание NI2 кнопкой Вкл.3. Откачка CV производится аналогично.

Для замены изделия необходимо закрыть затвор VП7, соединяющий CV с ЭП и вентили VП3, VП соединяющие ND1 c CV, открыть вентиль VП1 для напуска воздуха в вакуумную камеру, после чего открыть люк и достать свариваемое изделие. Загрузив следующее изделие, закрыть вентиль VП1 и люк. Повторить цикл откачки имея в виду, что ND1 готов к работе и необходимо осуществить только откачку CV на низкий и высокий вакуум.

.2 Выбор насосов вакуумной системы

Выбор насосов вакуумной системы осуществляется в соответствии с расчетом характерных параметров диффузионного и форвакуумного насосов, таких как эффективная быстрота откачки насоса S_эф и быстрота действия насоса S_н , л/с.

Весь процесс откачки подразделяется на два периода: период предварительной откачки от атмосферного давления до давления, при котором начинает работать высоковакуумный насос (1·10^-1…1·10^-3 мм.рт. ст.) и период откачки от давления 1·10^-1…1·10^-3 мм.рт.ст до заданного рабочего давления Р=10^-5 мм.рт.ст.

.2.1 Определение суммарного газового потока натекающего в электронную пушку

Давление р=10^-3 Па в электронной пушке определяется равновесием между удаляемым с помощью вакуумного насоса потока Q и потоком, поступающим в откачиваемый объем Q_S, последний складывается из потока газа натекающего по лучепроводу из рабочей вакуумной камеры Q_лп; газовыделения с внутренних стенок электронной пушки Q_газ и потока газов Q_{нат ,} натекающих из атмосферы.

 (2.25)

Примем .

Определим поток газов, выделяющийся со стенок электронной пушки по формуле:

, где (2.26)

 - площадь поверхности боковых стенок пушки, м²

-скорость удельного газовыделения (для боковых стенок из коррозионностойкой стали).

, где (2.27)

=0.16 м - диаметр внутренней стенки пушки

=0.32 м- высота электронной пушки.

Натекающий поток газа определяется по формуле:

 (2.28)

, где

 = 2 - число последовательно проверенных соединений;

=0.2 -вероятность существования течи, которую нельзя определить с помощью течеискателя;

 - наименьший поток, регистрируемый течеискателем

Таким образом, суммарное натекание газа будет равно:

.2.2 Определение быстроты откачки

Быстротой откачки объекта или эффективной быстротой откачки насоса называется объем газа, поступающий в единицу времени из откачиваемого объекта в трубопровод через сечение при давлении p.

Если считать, что суммарное натекание газа постоянно во времени, то необходимая эффективная быстрота откачки из электронной пушки равна:

 , (2.29)

где - рабочее давление в пушке;

 - суммарное натекание газа;

Коэффициент использования насоса К_и=0.4;

Найдем номинальную быстроту действия S_H1,

 (2.30)

По быстроте откачки и рабочему давлению подберем подходящий насос.

.2.3 Выбор высоковакуумного насоса

Диффузионные насосы применяют для откачки вакуумных систем до остаточных давлений Па. И ниже. Механизм удаления газа в диффузионных насосах обусловлен диффузионными процессами. Под действием разности концентраций газа над паровой струей и в струе (концентрация газа в струе вблизи сопла пренебрежимо мала) происходит диффузия газа в струю. Попав в струю, молекулы газа получают импульсы от молекул пара в направлении парового потока и уносятся вместе со струей к стенке корпуса насоса; при этом пар конденсируется на охлаждаемой стенке, а газ, сжатый в струе до выпускного давления ступени, перетекает вдоль стенки в пространство над следующей ступенью насоса. Наряду с прямой диффузией газа происходит и обратная диффузия в струю со стороны форвакуума. Однако в этом случае молекулы газа, движущиеся в обратном направлении, сталкиваются с движущимися им навстречу молекулами пара и оттесняются обратно в сторону форвакуума; лишь небольшая часть молекул может продиффундировать через струю в обратном направлении. Число молекул газа, диффундирующих через струю в обратном направлении, при оптимальном режиме работы насоса несоизмеримо мало по сравнению с числом молекул газа.

Нам подходит паромасляный диффузионный насос НВД-025[2] с номинальной быстротой откачки близкой к расчетной, основные характеристики которого приведены в табл.4.1.

Таблица 4.1

Основные характеристики диффузионного насоса НВД-025[2]

.2.4 Выбор насоса предварительного разряжения

Требуемая быстрота действия . Нам подходит агрегат вакуумный ротационный 2НВР-5ДМ [2], характеристики которого приведены в табл.4.2.

Таблица 4.2

Насос вакуумный ротационный 2НВР-5ДМ [2]

=0.7

Насос типа 2НВР-5ДМ (Н- насос, В- вакуумный, Р- ротационный, Д- двухступенчатый, М- модернизированный).

.2.5 Расчет времени откачки электронной пушки

Общее время откачки электронной пушки определяется быстродействием вакуумных насосов. Так как в данном случае два насоса, то следует подсчитать время откачки от каждого в отдельности, а потом сложить.

Время достижения рабочего вакуума определяется по следующей формуле:

, где (2.31)

-объем электронной пушки, м³,

-эффективная быстрота откачки агрегата НВД-025, м³/с,

- атмосферное давление и давление, необходимое для пуска

диффузионного насоса, Па.

- коэффициент запаса

Объем электронной пушки

Время достижения промежуточного вакуума определяется аналогично:

, где:

 - эффективная быстрота откачки форвакуумного насоса, м³/с,

- давление, необходимое для пуска диффузионного насоса и рабочее давление в вакуумной камере, Па.

Суммарное время откачки от двух насосов:

.2.6 Графическая проверка выбора вакуумных насосов и определение совместности их работы

Согласование последовательно работающих насосов осуществляется:

по потоку откачиваемых газов;

по выпускному давлению основного насоса;

по диаметру соединяющего трубопровода, который обычно выбирают

несколько большим диаметра выпускного патрубка основного насоса.

Проверяем совместность работы насосов графически.

С целью проверки совместности работы вакуумных насосов в системе, включающей ее элементы, построим графики зависимости S_н1(p), S_н2(p), S_эф1(p), S_эф2(p), S_Q(p), представленных на рис.11.

Рис.11. Графическая проверка совместности работы вакуумных насосов

Точка пересечения кривых S_эф1 и S_Q, показанная на графике, соответствует установившемуся режиму работы первого насоса. Давление в точке пересечения равно рабочему давлению первого насоса. Аналогично по пересечению кривых S_эф2 и S_Q находим рабочее давление второго насоса. Так как оно меньше, чем максимальное выпускное давление первого насоса, следовательно, насосы работают совместно.

Условием запуска системы можно считать отсутствие двойного пересечения кривых S_Q и S_эф1 в промежутке рабочих давлений. Следовательно, система запускается.

Заключение

В ходе проделанной работы, для сварки изделий в промежуточном вакууме была выбрана электронно-лучевая пушка Штейгервальда мощностью 9 кВт. Произведен расчет и сравнение проволочных прямонакальных катодов из фольфрама и тантала. В результате сравнения был выбран катод из тантала, работающий при Т=2200 К.

Также был произведен расчет отклоняющей катушки, позволяющей получить в условиях высокого ускоряющего напряжения, большие плотности мощности пучка (n=2078 витков, Fкат=311.7 мм2, Н=15 мм, В=20.78 мм, Iф=0.25 А).

Для непрерывного поддержания разрежения в полости пушки 10-3 Па и в сварочной камере, где периодически создается разряжение 10-3 Па была разработана схема откачки и подобраны насосы (диффузионный НВД-025 и форвакуумный 2НВР-5ДМ). Также произведена проверка возможности совместной работы насосов.

Список литературы

1. Ластовиря В.Н. Оборудование для обрабатки материалов электранным пучком. Учеб. Пос. по курсу "Технологические машины и оборудование". Изд. МЭИ. 1997.-132с.

. Вакуумная техника: Справочник/ Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева.- М.: Машиностроение, 1992.-132с.

. Шиллер 3., Гайзиг У., Панцер 3. Электронно-лучевая технология: Пер. с нем. - М.: Энергия, 1980 - 528с.

. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учеб. Для вузов.- 2-е изд..-М.: Высш. шк. 1990.~320с.

. Электронно-лучевая сварка./ Назаренко О.К., Кайдалов А.А., Ковбасенко С.Н., и д.р.; Под ред. Б.Е. Патона. - Киев: Наук. Думка, 1987. -256с.

6. Мамутов Е.Л. Электронно-лучевая сварка деталей большой толщины. - М.: Машиностроение, 1992.