Робототехнические комплексы (РТК) электрофизической обработки
...и снимается роботом IR 601/60 с вакуумным схватом. Роботизированная установка "ОПАЛ"
– возможность работы с инертными (Ar, He, Ne, и т.д.) и активными газами (O2, N2, CFx, CxHy и т.д.); – косое напыление . Схема установки IBSS показана на рис.1.